In Situ Heat Treatment of ZnO:Al Thin Films Fabricated by RF Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.30 No.5 2017 pp.307-311
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Effect of Heat Treatment Method on Properties of ZnO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 Applied science and convergence technology Vol.26 No.2 2017 pp.30-33
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.30 No.6 2017 pp.372-375
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RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 증착한 AGZO 박막의 Ar 유량에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.35 No.1 2022 pp.32-36
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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 GZO 박막의 Ar 유량에 따른 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.33 No.6 2020 pp.450-453
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Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power
[Kisti 연계] 한국진공학회 Applied science and convergence technology Vol.24 No.6 2015 pp.242-244
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[Kisti 연계] 한국진공학회 Applied science and convergence technology Vol.23 No.5 2014 pp.279-283
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Investigation of the Annealing Time Effects on the Properties of Sputtered ZnO:Al Thin Films
[Kisti 연계] 한국진공학회 Applied science and convergence technology Vol.23 No.6 2014 pp.366-370
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공정 압력에 따라 스퍼터된 Al 도핑 ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.22 No.5 2013 pp.257-261
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