Unusual ALD Behaviors in Functional Oxide Films for Semiconductor Memories
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.77
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
다결정 실리콘 박막 트랜지스터를 이용한 $0.5{\mu}m$ 급 SONOS 플래시 메모리 소자의 개발 및 최적화
[Kisti 연계] 대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea Vol.49 No.10 2012 pp.111-121
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Atomic Layer Deposition of $Bi_2Ti_2O_7$ Thin Films for Capacitor Dielectric Applications
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회 학술대회논문집 2004 p.81
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