Fabrication of Micro-inductor and Capacior For RF MEMS Applications
[Kisti 연계] 대한전자공학회 Journal of semiconductor technology and science Vol.2 No.2 2002 pp.102-110
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전지적 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.206-211
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