CO oxidation on nanoporous Au thin films grown on Si wafe
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.144
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CO oxidation mechanism of Pt naostructures deposited on Tantalum oxide
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.232
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ICP Poly Etcher를 이용한 RF Power와 HBr Gas의 변화에 따른 Polysilicon의 건식식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.15 No.6 2006 pp.630-636
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Deposition of epitaxial SiC film using thermal MOCVD method
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2006 p.136
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[Kisti 연계] 한국산학기술학회 한국산학기술학회 학술대회논문집 2006 pp.377-380
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ICP Poly etcher의 RF power와 HBr gas의 변화에 따른 output parameters의 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.127
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