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Czochralski 법으로 성장시킨 실리콘 단결정 Wafer에서의 Gettering에 관한 연구
양두영, 김창은, 한수갑, 이희국
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.29 No.4 1992 pp.273-282
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