Metal tip FEA 의 제조시 식각 용액이 게이트 산화막에 미치는 영향
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1996 pp.1450-1452
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
단결정 Si 기판의 결정 의존성 식각에 의한 Knife형 Si tip array의 제조
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1995 pp.1428-1430
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