MEMS 소자의 비아 홀에 대한 레이저 공정변수의 최적화
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.34 No.11 2010 pp.1765-1771
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Hollow Structure에서의 희생층 평탄화 제작 공정
[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 Vol.53 No.10 2004 pp.546-550
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8빔 압저항형 가속도센서의 자기진단 기능을 위한 IC칩 제조
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.8 No.1 1999 pp.38-44
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