Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.15 No.9 2005 pp.604-607
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마그네트런 스퍼터링법으로 증착한 투명전극용 Al도핑된 ZnO의 공정 분위기에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.15 No.8 2005 pp.518-520
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