반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.355
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RF magnetron sputtering 방식을 이용하여 직접 증착된 HfO$_2$ flim의 열처리에 따른 구조 및 전기적 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.358
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DC and RF Characteristics of HfO$_2$ in Metal-Insulator-Metal Capacitor
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.172
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기판 온도 변화에 따른 AlN 박막 성장에 잔류 산소가 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.21 No.5 2008 pp.463-467
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