Wafer Hybrid Bonding을 위한 Upper Wafer Handling 모듈 설계 및 제어
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.21 No.1 2022 pp.142-147
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[Kisti 연계] 한국철도학회 한국철도학회논문집 Vol.19 No.5 2016 pp.565-575
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.32 No.7 2015 pp.597-602
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.31 No.9 2014 pp.759-764
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