고속 마그네트론 스퍼터링에 의한 CrNx 후막의 합성 및 기계적 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.136
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
강자성체 코팅용 마그네트론원 설계 및 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 p.169
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