V-Based Self-Forming Layers as Cu Diffusion Barrier on Low-k Samples
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.409
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Investigation of Effective Contact Resistance of ZTO-Based Thin Film Transistors
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.543
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Self-formation of Diffusion Barrier at the Interface between Cu-V Alloy and $SiO_2$
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.256
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Characteristics of MOCVD Cobalt on ALD Tantalum Nitride Layer Using $H_2/NH_3$ Gas as a Reactant
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.377
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Thermal Stability of Self-formed Barrier Stability Using Cu-V Thin Films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.188
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Self-forming Barrier Process Using Cu Alloy for Cu Interconnect
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 pp.189-190
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Investigation of Vanadium-based Thin Interlayer for Cu Diffusion Barrier
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2011 p.41
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원자층 증착법을 이용한 Al2O3/TiO2 보호막의 수분 보호 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.6 2010 pp.495-500
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PEALD TaNx 박막 내 질소 함량 확산 방지 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.179
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원자층 증착법을 이용한 산화 알루미늄과 산화 타이타늄의 다층 보호막 개발 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.251
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소스/드레인 물질에 따른 IGZO기반의 TFT소자의 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.145
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DC magnetron sputtering을 이용하여 산소분압별로 증착된 InZnO 기반의 박막 트랜지스터의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.244
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.183-184
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