[Kisti 연계] 한국전자파학회 The journal of Korea Electromagnetic Engineering Society Vol.24 No.9 2013 pp.936-943
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
MMIC 제작을 위한 반도체 공정 조건들의 최적화 - Si$_3$N$_4$증착, GaAs via-hole건식식각, Airbridge공정
[Kisti 연계] 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회논문집 1999 pp.934-937
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