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이불화제논 기상 식각에 의한 실리콘 기판의 표면 텍스쳐링 특성
김선훈, 기현철, 김두근, 나용범, 김남호, 김회종
[Kisti 연계] 대한전기학회 電氣學會論文誌 Vol.59 No.4 2010 pp.749-753
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