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이온주입된 Si에서 도우펀트의 확산거동 및 결정성 회복
문영희, 이동건, 심성엽, 김동력, 배인호, 김말문, 한병국, 하동한, 정광화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.3 No.3 1994 pp.341-345
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