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나노스텐실 제작을 위한 집속이온빔 밀링 특성

김규만

[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.28 No.2 2011 pp.245-250

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섀도 마스크 증착을 이용한 마이크로/나노 패터닝

김규만

[Kisti 연계] 대한기계학회 기계저널 Vol.46 No.6 2006 pp.45-49

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국부증착용 마이크로 샤도우 마스크 제작

김규만, 유르겐부르거

[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.21 No.8 2004 pp.152-156

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