열처리에 따른 Cu 전해도금막의 미세구조 및 물리적성질 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.2 2004 pp.72-78
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다공성 실리콘위에 증착된 Cu 박막의 구조적 물리적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.12 No.2 2003 pp.123-129
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ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 Annealing의 효과
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.13 No.3 2003 pp.174-179
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[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.12 No.6 2002 pp.493-498
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.3 2002 pp.183-188
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