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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

반도체 기판 교차 파지 방법

안영기, 최중봉, 구교욱, 조중근, 김태성

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.8 No.1 2009 pp.1-5

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매엽식 방법을 이용한 웨이퍼 후면의 박막 식각

안영기, 김현종, 구교욱, 조중근

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.5 No.2 2006 pp.47-49

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$SiO_2$막의 습식식각 방법별 균일도 비교

안영기, 김현종, 성보람찬, 구교욱, 조중근

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.5 No.2 2006 pp.41-46

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