엑시며 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막의 Angle wrapping에 의한 깊이에 따른 특성변화
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.10 1998 pp.884-889
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고집적 소자에 적용되는 저저항 텅스텐 박막에서 응력의 RF power 의존성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.11 1998 pp.977-981
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급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.7 No.10 1997 pp.908-913
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