Treatment of Hydrogen Fluoride Generated from the F-gases Decomposition Processes
[Kisti 연계] 한국대기환경학회 Asian journal of atmospheric environment Vol.10 No.4 2016 pp.190-196
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Flow Behavior at the Embossing Stage of Nanoimprint Lithography
[Kisti 연계] 한국섬유공학회 Fibers and polymers Vol.3 No.3 2002 pp.113-119
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