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전자빔 응용 나노 가공기술

김재구, 이재종, 조성학, 최두선, 이응숙

[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.25 No.3 2008 pp.7-14

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Sub-50nm급 나노 임프린트 리소그래피장비 기술

이재종, 최기봉, 김기홍

[Kisti 연계] 대한전기학회 전기의 세계 Vol.56 No.10 2007 pp.28-33

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나노 임프린팅 장비의 기술개발 현황

이재종, 김기홍, 최기봉, 정광조

[Kisti 연계] 재료연구소 기계와재료 Vol.15 No.4 2003 pp.38-47

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