Electric field induced second harmonic generation in SiOC(-H) thin films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.154
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Interface characterization and current conduction in low-k SiOC(-H) thin films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.155
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Low-k thin film interface studies by using second harmonic generation
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.158
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Electrical properties of u/TaN/SiOC(-H)/p-Si(100) low-k dielectric stack
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.156
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