한국기계기술학회 한국기계기술학회 학술대회논문집 2017년도 한국기계기술학회 춘계학술발표회 논문집 2017.04 pp.29-33
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Post-CMP Cleaning에서 PVA 브러시 오염이 세정 효율에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.22 No.2 2009 pp.114-118
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 $CF_4$ 및 $N_2$ Gas 영향에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2006 p.85
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RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 $CF_4$ 및 $N_2$ Gas 영향에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2005 p.151
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