Effects of the Sheath on Determination of the Plasma Density of Microwave Probe
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.181
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An Experimental Study on Multiple ICP & Helicon Source for Oxidation in Semiconductor Process
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.271
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Wave-cutoff method as a monitoring tool of the plasma uniformity and pressure
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.275
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Relationship between power form and discharge type in DBD
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2005 p.156
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.s1 1998 pp.106-117
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Helicon Wave Excitation of M+1, $\pm$1 and $\pm$2 Modes
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1996 p.109
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