[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.1 2016 pp.17-21
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.3 2016 pp.35-39
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.1 2016 pp.6-11
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EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.1 2016 pp.22-26
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극자외선 리소그라피에서의 Sub-resolution assist feature를 이용한 근접효과보정
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.3 2016 pp.1-5
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태블릿 PC에서의 스타일러스 펜 및 손 기반인터랙션을 위한 소프트 키보드 타입 비교
[Kisti 연계] 대한산업공학회 대한산업공학회지 Vol.42 No.1 2016 pp.57-64
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위상변위 극자외선 마스크의 흡수체 패턴의 기울기에 대한 오차허용도 향상
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.2 2016 pp.32-37
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SRAF를 적용한 극자외선 노광기술용 위상 변위 마스크의 반사도에 따른 이미징 특성 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.14 No.3 2015 pp.1-5
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HF 습식 식각을 이용한 극자외선 노광 기술용 SiNx
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.14 No.3 2015 pp.7-11
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실리콘 박막 태양전지용 금속 기판재의 반사 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국신재생에너지학회 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 2011 p.115
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Resistance Switching Enhancement in Multi-step Deposition by Multi-deposition and Multi-anneal
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2005 pp.151-154
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$HfO_2$ dielectrics를 이용한 reactive sputtering TaN gate electrode 의 특성분석
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회논문집 2003 pp.185-190
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