고주파 반응성 스퍼터링에 의해 제작된 InN 박막의 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.11 No.7 1998 pp.527-534
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1997 pp.44-47
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반응성 스퍼터링 방법에 의한 AIN 박막의 제작과 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1996 pp.23-26
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1996 pp.19-22
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DLTS 측정에 의한 접합 SOI 웨이퍼내의 결함 분석
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.23-24
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