유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 $Al_2O_3$/Alucone 박막의 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.443
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CF4/Ar 유도결합플라즈마의 저 유전상수 SiCOH 박막 식각에 미치는 RF 파워의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.402
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