SOG(Silicon On Glass)공정을 이용한 수평형 미소가속도계의 제작에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.13 No.6 2004 pp.430-435
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
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