플래티늄을 이용하여 성장된 탄소나노튜브의 성장 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.154
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플라즈마 에칭을 통한 촉매 금속의 표면 변화가 탄소나노튜브의 성장에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.152
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열처리로 형성된 Ni nanopartiele을 이용한 탄소나노튜브의 성장
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.151
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건식 열산화로 성장시킨 $SiO_2$박막의 이차전자 방출 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.1 2001 pp.31-36
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CF/O2 Plasma를 사용한 ashig 후의 잔류물 제거에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.165
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Anisotropic Poly-Silicon Etch With $Cl_2/CH_3Br$
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.195
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고밀도 플라즈마를 사용한 Si-Poly/Cl2 Etching
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1995 p.99
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