밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.26
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2007 pp.19-22
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.5 No.2 2006 pp.41-46
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.182-189
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선형유도전동기를 이용한 전자기 펌프내 액체 금속의 유동해석
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2005 pp.1318-1320
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