Plasma 공정에서 Gas Purge를 이용한 미세 Particle 제어방법 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.196
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준안정 준위를 포함한 헬륨 플라즈마의 영차원 모사 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.520
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유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.519
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표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.269
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비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.222
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플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.209
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[Kisti 연계] 한국항공우주학회 한국항공우주학회지 Vol.36 No.8 2008 pp.774-779
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400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2007 pp.63-71
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Experiment and characteristics for size of a planar rf-antenna in Inductively coupled plasma
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2007 pp.113-117
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보조 안테나를 이용한 측면형 페라이트 ICP의 플라즈마 변수 제어
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2007 pp.99-103
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400 kHz 페라이트 유도 결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.2 2007 pp.29-33
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A comparison study of plasma characteristics between two antennas in Inductively Coupled Plasma(ICP)
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2007 pp.226-227
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[Kisti 연계] 한국보건교육건강증진학회 보건교육ㆍ건강증진학회지 Vol.23 No.4 2006 pp.29-45
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[Kisti 연계] 한국보건교육건강증진학회 Korean journal of health education and promotion Vol.23 No.4 2006 pp.29-45
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[Kisti 연계] 대한예방의학회 Journal of preventive medicine and public health Vol.38 No.4 2005 pp.473-481
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 1997 pp.999-1002
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