유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2001 pp.15-16
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유도 결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Ti, Cr)N박막의 제조 및 특성 평가
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2001 pp.33-34
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