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ICP 표면 처리된 Si 기판 위에 성장된 Ge 층의 초기 성장 상태 연구

양현덕, 길연호, 심규환, 최철종

[Kisti 연계] 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 Vol.21 No.4 2011 pp.153-157

Platinum silicided p-type Schottky barrier metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (SB-MOSFETs) using silicidation through oxide technique

최철종, 문란주, 정명일, 길연호, 오미영, 신미임, 심규환, 장문규, 장성용

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.75