[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 Vol.25 No.2 2024 pp.10-14
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식각공정용 가스방전에서 이온 및 활성종 밀도의 전자밀도 및 온도 의존성에 대한 수치해석적 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.6 2011 pp.422-429
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Atomic and Molecular Data Research for Plasma Applications
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.32
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$Cl_2$/Ar 방전에서의 플라즈마 변수에 대한 이온과 라디칼 밀도 의존성 분석
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2010 p.103
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유체모델을 기반으로 하는 TCP/ICP 플라즈마원 시뮬레이터 개발현황
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.85
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유체 모델을 기반으로 하는 유도 결합 플라즈마 시뮬레이터 개발 현황
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.3 2009 pp.151-163
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평판형 유도결합 플라즈마 장치의 SiH<SUB>4/H<SUB>2 방전에 대한 공간 평균 전산모사
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.6 2009 pp.426-434
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고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 $SiH_4/O_2$/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.194
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고밀도 유도 결합 플라즈마 장치의 SiH<SUB>4/O<SUB>2/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.5 2008 pp.426-434
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고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 $O_2$ 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.550-551
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[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 Vol.54 No.5 2005 pp.218-223
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DC 마그네트론 스퍼터링 장치의 영구자석에 의한 자기장의 2차원 해석적 해
[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 Vol.54 No.7 2005 pp.326-331
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평판형 유도 결합 플라즈마 장치에 대한 Alternate type Impedance matching 회로 분석
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2004 pp.1933-1935
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고밀도 유도결합 플라즈마원 유체 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 수치해석 방법 비교
[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 Vol.53 No.8 2004 pp.433-442
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$Cl_2$ 방전에서의 기판 표면 이온 각 분포 함수의 유동속도 의존성 조사
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2004 pp.1927-1929
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이온 온도 방정식이 포함된 고밀도 유도결합 플라즈마원 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 경계 조건 비교
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2004 pp.1924-1926
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평판형 유도결합 플라즈마 장치의 $CF_4$ 방전에 대한 Global Simulation
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2002 pp.1757-1759
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축전 용량이 고려된 평판형 유도 결합 플라즈마 원의 등가회로 모델
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2002 pp.1760-1762
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