약한 외부자기장이 인가된 유도결합형 플라즈마에서 m=0와 m=1 wave mode를 갖는 plasma wave의 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 p.170
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PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION OF NITROGEN AND CARBON IONS INTO CO-CEMENTED WC
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1999 p.220
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플라즈마 이온주입 방법을 이용한 표면개질 기술의 원리,장치 및 응용
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.163
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Hillock Prevention of Al Thin Film on Glass Substrate Using Plasma Source Ion Implantation Technique
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.196
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오메가트론을 이용한 ECR 수소 플라프마 내의 이온 검출
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1995 pp.459-461
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