플라즈마 내에서의 dust 입자의 하전 현상에 관한 연구
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제1집 1999.12 pp.3-8
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유도 결합형 플라즈마에서 In-situ 플라즈마 전자밀도 측정방법 연구
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제5집 2002.09 pp.29-34
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안테나 형태에 따른 대면적 ICP 플라즈마의 균일도 변화에 관한 연구
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제3집 2001.02 pp.85-91
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약한 외부자장에 의한 유도결합형 플라즈마에서의 Helicon wave 발생에 관한 연구
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제3집 2001.02 pp.65-71
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정전탐침을 이용한 ICP Plasma에서의 E-H mode 변환에 관한 연구
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제3집 2001.02 pp.57-64
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웨이블렛 변환을 이용한 정전 탐침 자료 분석 알고리즘 개발
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제1집 1999.12 pp.75-83
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VHF-CCP 설비에서 Ar/SF6 플라즈마 분포가 Si 식각 균일도에 미치는 영향 분석
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.4 2021 pp.72-77
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할로겐 플라즈마에 의한 Ge2Sb2Te5 식각 데미지 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.18 No.4 2019 pp.35-39
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플라즈마 정보인자를 활용한 SiO2 식각 깊이 가상 계측 모델의 특성 인자 역할 분석
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.18 No.4 2019 pp.30-34
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헬륨 대기압 유전체 격벽 방전기의 타운젠트-글로우 방전 모드 전이 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.2 2016 pp.26-31
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이중 주파수 전원의 용량성 결합 플라즈마 식각장비에서 전극하전에 의한 입사이온 에너지분포 변화연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.13 No.3 2014 pp.39-43
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수중 방전 미세 플라즈마를 이용한 디스크 치료기 개발 현황
[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 Vol.15 No.3 2014 pp.26-31
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좁은 간격 CCP 전원의 전극과 측면 벽 사이 플라즈마 분포
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.13 No.4 2014 pp.1-5
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.24 No.6 2011 pp.504-509
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전도성 향상을 위한 구리호일 위 CNT의 직접성장 및 전계방출 특성 평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.2 2011 pp.155-163
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허리통증유발 탈출 수핵의 대용량제거를 위한 플라즈마발생 전극개발에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.241
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전해질 내 방전 전극의 기포 막 두께에 따른 플라즈마 전력의 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.443
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척추 탈출 디스크 제거를 위한 미세 플라즈마 발생 장치 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.46
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