earticle

미세유체소자용 유리/유리 웨이퍼 접합 및 접합강도 평가

신규식, 박준식, 장석원, 박효덕, 강성군, 송영화

[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2003 pp.1917-1919

대면적 X-ray 검출기를 위한 분할 구동 시스템

이동길, 박지군, 김대환, 남상희, 안상호, 박효덕

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.388-391

저온 경화형 Ag 페이스트 및 이를 이용한 Ag 후막의 제조 및 특성

박준식, 황준호, 김진구, 김용한, 박효덕, 강성군

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.13 No.1 2003 pp.18-23

몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 비정질 셀레늄의 특성 평가

김진영, 강상식, 이동길, 석대우, 이규홍, 남상희, 박효덕

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2003 p.206

미세 작동기의 설계 및 위치 제어에 관한 연구

최원석, 지태영, 김건년, 박효덕, 허훈

[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회 학술대회논문집 2003 pp.911-916

Sol-Gel 법으로 제조된 후막 PZT의 두께, 전극형상 및 분극 공정에 따른 $e_{31,f}$ 특성

박준식, 양성준, 박광범, 윤대원, 박효덕, 김승현, 강성군, 최태훈, 이낙규, 나경환

[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회 학술대회논문집 2003 pp.1326-1331

완전차동용량형 압력센서를 위한 적분형 C-V 변환기

이대성, 김규철, 박효덕

[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 Vol.39 No.9 2002 pp.62-71

마이크로 적외선 센서 제작을 위한 초전 박막의 Ion Milling 식각

박준식, 장연태, 박광범, 박효덕, 유병곤, 강성군, 김승현, 전성진

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2002 p.36

Multi-coating법으로 제조된 두꺼운 PZT막의 두께 변화에 따른 미세구조 및 전기적 특성

박준식, 장연태, 박효덕, 최승철, 강성군

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.12 No.3 2002 pp.211-214

마이크로 압전 소자용 후막 PZT의 제조 및 물성 평가

박준식, 박광범, 윤대원, 박효덕, 강성군, 최태훈, 이낙규, 나경환

[Kisti 연계] 한국소성가공학회 소성가공 Vol.11 No.7 2002 pp.569-574

마이크로렌즈제조방법 - 발명의 요약 -

박효덕

[Kisti 연계] 한국발명진흥회 발명특허 Vol.27 No.4 2002 pp.66-73

마이크로 소자용 Pb(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 Helicon Plasma Source를 이용한 식각 공정 및 특성

전성진, 박준식, 박광범, 장연태, 신규식, 박효덕, 이승훈, 손재현, 유병곤, 강성군

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.217

마이크로머시닝 기술을 이용하여 제작한 포도당 센서에 관한 연구

최석민, 노일호, 양성준, 김창교, 유홍진, 박효덕

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2001 pp.451-454

자동차용 MEMS센서 기술현황 및 그 응용

박효덕, 조남규

[Kisti 연계] 대한기계학회 기계저널 Vol.41 No.12 2001 pp.49-59

마이크로 압전 엑츄에이터 제조를 위한 PZT 박막의 이온 밀링 식각 공정 연구

박준식, 김대식, 박광범, 박효덕, 장연태, 강성군

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2001 p.61

마이크로 압력센서 개발동향 및 그 전망

박효덕, 김건년, 이유진

[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會誌 Vol.28 No.10 2001 pp.22-28

MEMS 기술과 차세대 자동차산업

박효덕, 조남규

[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會誌 Vol.28 No.3 2001 pp.80-96

Thermal Reflow법에 의한 마이크로렌즈의 제작 및 그 특성

박광범, 김인회, 정석원, 김건년, 문현찬, 박효덕, 신상모

[Kisti 연계] 한국광학회 한국광학회 학술대회논문집 2000 pp.192-193

Micro Fabricated Optical Pick-up 헤드 설계 및 제작

김인회, 박광범, 정석원, 김건년, 문현찬, 박효덕

[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2000 pp.2263-2265

MEMS의 최근 기술동향(추진/구동분야)

박효덕, 박준식, 박철완

[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회지 Vol.49 No.12 2000 pp.22-27