[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.1-6
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[Kisti 연계] 한국청정기술학회 청정기술 Vol.9 No.3 2003 pp.101-105
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2002 pp.62-66
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[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.11 No.4 2001 pp.251-257
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2000 pp.1-5
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대면적화된 마이크로파 플라즈마를 이용하여 실리콘 웨이퍼에 증착한 다결정 실리콘의 특성 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.9 No.6 1999 pp.604-608
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.8 No.1 1999 pp.13-19
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고주파 SAW Filter 의 제작과 Filter 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1997 pp.56-59
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전기적 방법을 이용한 실리콘 단결정 내 미세 결함의 검지
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1997 pp.521-524
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HF-last Cleaning에서 SC-1 step과 $UV/O_3$ step이 gate 산화막에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.4 1996 pp.395-400
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리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면의 금속오명 제거
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.7 1996 pp.661-670
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DLTS 측정에 의한 접합 SOI 웨이퍼내의 결함 분석
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.23-24
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