VHF-CCP 설비에서 Ar/SF6 플라즈마 분포가 Si 식각 균일도에 미치는 영향 분석
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.4 2021 pp.72-77
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Safety evaluation of atmospheric pressure plasma jets in in vitro and in vivo experiments
[Kisti 연계] 대한치주과학회 Journal of periodontal & implant science Vol.51 No.3 2021 pp.213-223
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[Kisti 연계] 대한치주과학회 Journal of periodontal & implant science Vol.49 No.5 2019 pp.319-329
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헬륨 대기압 유전체 격벽 방전기의 타운젠트-글로우 방전 모드 전이 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.2 2016 pp.26-31
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[Kisti 연계] 한국진공학회 Applied science and convergence technology Vol.23 No.6 2014 pp.357-365
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수중 방전 미세 플라즈마를 이용한 디스크 치료기 개발 현황
[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 Vol.15 No.3 2014 pp.26-31
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이중 주파수 전원의 용량성 결합 플라즈마 식각장비에서 전극하전에 의한 입사이온 에너지분포 변화연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.13 No.3 2014 pp.39-43
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좁은 간격 CCP 전원의 전극과 측면 벽 사이 플라즈마 분포
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.13 No.4 2014 pp.1-5
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허리통증유발 탈출 수핵의 대용량제거를 위한 플라즈마발생 전극개발에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.241
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.24 No.6 2011 pp.504-509
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척추 탈출 디스크 제거를 위한 미세 플라즈마 발생 장치 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.46
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광진단을 이용한 전자 에너지 분포 함수 변화 감지 알고리즘 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.131
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RF 안테나 주파수에 따른 유도결합형 수소 플라즈마 이온원의 수소 이온 밀도 분율 변화 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.133
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대기압 아르곤 마이크로웨이브 플라즈마 방전에서 스트리머 채널 형성에 대한 기초연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.130
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플라즈마 처리에 의한 원뿔형 다중벽 탄소나노튜브 다발의 형성기전
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.129
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전해질 내 방전 전극의 기포 막 두께에 따른 플라즈마 전력의 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.443
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Study on Validity of 1-D Spherical Model on Aqua-plasma Power Estimation With Electrode Structure
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.74
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이중 주파수 고주파 용량성 결합 플라즈마 장치의 전극 전압 전류 신호의 위상차 및 고조파 발생 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.138
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변형된 나고야-III 안테나를 이용한 자화 플라즈마의 특성연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.258
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