MgO 증착을 위한 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링에서 실시간 공정 진단
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.38 No.2 2005 pp.73-78
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산화막 식각 기구 연구를 위한 QMF Ion Beam 장치의 제작
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.37 No.4 2004 pp.220-225
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RF ppulse를 이용한 ICpp-Magnetron Spputtering pplasma 의 Ionization 효율 향상
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.191
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.52 No.3 2019 pp.171-179
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그린리모델링 실증 시범사업을 통한 프로세스의 전 과정에 대한 검토
[Kisti 연계] 한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 Vol.38 No.3 2018 pp.37-45
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창호 리트로피트를 통한 에너지 절감 및 실내 열환경 개선 효과 분석에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 Vol.38 No.3 2018 pp.29-36
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UBM 마그네트론 스퍼터 시스템을 이용한 구리 타겟의 이온전류밀도 향상 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.50 No.3 2017 pp.192-197
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.48 No.4 2015 pp.179-184
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모듈레이티드 펄스 스퍼터링으로 상온 증착한 Indium-Tin-Oxide (ITO) 나노 박막
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.47 No.3 2014 pp.109-115
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유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.186
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유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 CrN 박막의 반응성 증착에서 질소 분압에 따른 박막 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.566
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[Kisti 연계] 한국임상수의학회 Journal of veterinary clinics Vol.30 No.3 2013 pp.196-200
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유도 결합 플라즈마-스퍼터 승화법을 이용한 고분자 전해질 연료전지 분리판용 CrN 박막의 내식성연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.46 No.4 2013 pp.168-174
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유도결합 플라즈마 시스템의 수치 모델링에서 가스 분배 특성 해석
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.46 No.3 2013 pp.133-138
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유도결합 플라즈마 스퍼터링 장치에서 MgO의 반응성 증착 시 공정 진단
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.45 No.5 2012 pp.206-211
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유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 Cr 박막 증착 및 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.243
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Al doped ZnO 박막 증착을 위한 모듈레이티드 펄스 스퍼터링
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.45 No.2 2012 pp.53-60
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.45 No.4 2012 pp.174-180
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.45 No.4 2012 pp.168-173
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Enhancement of Electrical and Optical Properties of AZO Thin Film Fabricated by Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.168
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