간행물 정보
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- 제공처
- 한국연구재단
- 발행기관
- 한국트라이볼로지학회
- 수록기간
- 2002 ~ 2024
- 주제분류
- 공학 > 기계공학
Vol.32 No.2 (6건)
[NRF 연계] 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Vol.32 No.2 2016.04 pp.39-43
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
고정 입자 정반을 이용한 사파이어 기판의 연마 특성 연구
[NRF 연계] 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Vol.32 No.2 2016.04 pp.44-49
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[NRF 연계] 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Vol.32 No.2 2016.04 pp.50-55
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사파이어 웨이퍼 DMP에서 마찰력 모니터링을 통한재료 제거 특성에 관한 연구
[NRF 연계] 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Vol.32 No.2 2016.04 pp.56-60
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A Study on Pressure Distribution for Uniform Polishing of Sapphire Substrate
[NRF 연계] 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Vol.32 No.2 2016.04 pp.61-66
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CMP 공정에서 압력과 정반속도가 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 미치는 영향
[NRF 연계] 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Vol.32 No.2 2016.04 pp.67-71
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