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신 메모리 소자의 개발 현황 및 전망
정홍식
[Kisti 연계] 한국진공학회 진공 이야기 Vol.1 No.3 2014 pp.4-8
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술
홍완식
[Kisti 연계] 한국진공학회 진공 이야기 Vol.1 No.3 2014 pp.9-13
EUV Lithography를 위한 진공 기술
주장헌
[Kisti 연계] 한국진공학회 진공 이야기 Vol.1 No.3 2014 pp.14-20
차세대 나노소자에서의 물리적 논점
조만호
[Kisti 연계] 한국진공학회 진공 이야기 Vol.1 No.3 2014 pp.21-27
2018 (9)
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