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전기전자재료학회논문지

간행물 정보

Vol.14 No.3 (14건)

STI-CMP 공정 적용을 위한 연마 정지점 고찰

김상용, 서용진

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.14 No.3 2001 pp.175-184

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

OES를 이용한 SBT 박막의 식각 특성 연구

신성욱, 김창일, 장의구

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.14 No.3 2001 pp.185-189

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