공기청정기술::한국공기청정협회[한국과학기술정보연구원]

공기청정기술

간행물 정보

제공처

한국과학기술정보연구원
발행기관
한국공기청정협회
수록기간
1988 ~ 2021
주제분류
사회과학 > 경제학

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GIGA급 반도체 클린룸내 입자관리

배귀남

[Kisti 연계] 한국공기청정협회 공기청정기술 Vol.12 No.1 1999 pp.28-39

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반도체 정밀 생산기기 방$\cdot$제진을 위한 미진동 Design Guide Line 해석

이호범

[Kisti 연계] 한국공기청정협회 공기청정기술 Vol.12 No.1 1999 pp.40-54

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300mm Wafer시대의 기술전망과 과제

조상준

[Kisti 연계] 한국공기청정협회 공기청정기술 Vol.12 No.1 1999 pp.55-80

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화학약품의 순환장치

(사)한국공기청정협회

[Kisti 연계] 한국공기청정협회 공기청정기술 Vol.12 No.1 1999 pp.81-86

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