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초록
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반도체 구조가 극도로 미세화되면서 반도체 제조 업체들은 수율 저하, 높은 공정 복잡도, 공정 비용 증가 등의 다양한 어려움을 겪고 있다. 인공지능은 반도체 제조 전반에 적용되어 수익성을 개선할 수 있을 것이라고 기대되고 있으나 실제로 인공지능이 반도체 제조에 어떻게 사용되고 있는지 탐구한 연구는 부재하다. 따라서 본 연구는 특허 데이터를 이용하여 반도체 생산에 AI 기술 활용 현황을 탐구하고 기대 기술 적용 분야를 예측하는 것을 목표로 한다.
목차
Abstract
Introduction
Literature Review
Semiconductor Manufacturing Process
Semiconductor Manufacturing and Artificial Intelligence
Methods
Data
Analysis Dimensions
Technology-Function Matrix
Emerging Application Analysis
Results
Descriptive Statistics
Applied AI Technologies
AI Application Types
Technology-Function Matrix
Emerging Application Types
Discussion and Conclusion
Acknowledgments
References
Introduction
Literature Review
Semiconductor Manufacturing Process
Semiconductor Manufacturing and Artificial Intelligence
Methods
Data
Analysis Dimensions
Technology-Function Matrix
Emerging Application Analysis
Results
Descriptive Statistics
Applied AI Technologies
AI Application Types
Technology-Function Matrix
Emerging Application Types
Discussion and Conclusion
Acknowledgments
References
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