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A Study on Resonance Characteristics of FBAR Devices Using Compensatory-doped ZnO Thin Films
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목차
Ⅰ. 서론
1. 연구의 배경 및 목적
2. 연구의 내용 및 범위
II. 실험 방법
III. 실험 결과 및 논의
1. ZnO:N 박막과 진성(intrinsic) ZnO 박막의 비교 분석
2. ZnO:N 박막을 적용한 FBAR 소자의 제작
IV. 결론
감사의 글
참고문헌
1. 연구의 배경 및 목적
2. 연구의 내용 및 범위
II. 실험 방법
III. 실험 결과 및 논의
1. ZnO:N 박막과 진성(intrinsic) ZnO 박막의 비교 분석
2. ZnO:N 박막을 적용한 FBAR 소자의 제작
IV. 결론
감사의 글
참고문헌
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