earticle

논문검색

Session Ⅰ: 통신소자, 좌장 : 윤기완 (한국과학기술원)

보상 도핑된 ZnO 박막을 이용한 FBAR 소자의 공진 특성 연구

원문정보

A Study on Resonance Characteristics of FBAR Devices Using Compensatory-doped ZnO Thin Films

이은주, 정상범, 박재돈, 윤기완

피인용수 : 0(자료제공 : 네이버학술정보)

목차

Ⅰ. 서론
  1. 연구의 배경 및 목적
  2. 연구의 내용 및 범위
 II. 실험 방법
 III. 실험 결과 및 논의
  1. ZnO:N 박막과 진성(intrinsic) ZnO 박막의 비교 분석
  2. ZnO:N 박막을 적용한 FBAR 소자의 제작
 IV. 결론
 감사의 글
 참고문헌

저자정보

  • 이은주 한국과학기술원, 박사과정
  • 정상범 한국과학기술원, 석사과정
  • 박재돈 한국과학기술원, 박사과정
  • 윤기완 한국과학기술원, 교수

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

    함께 이용한 논문

      ※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.
      ※ 학술발표대회집, 워크숍 자료집 중 4페이지 이내 논문은 '요약'만 제공되는 경우가 있으니, 구매 전에 간행물명, 페이지 수 확인 부탁 드립니다.

      • 4,000원

      0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.