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반도체/LCD 제조공정에서의 Silane에 대한 ALARP개념의 화재 폭발 위험성평가에 관한 연구
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초록
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본 연구에서는, 반도체, LCD 공정에서 금속막을 증착하기 위하여 PECVD장비에 화재, 폭발 위험성과 독성을 가진 Silane가스를 사용하게 되는 장비인 gas cabinet, pipeline, VMB(Valve manifold box), MFC(mass flow controller)장비 등, 전반적인 시스템에 대하여 영국 HES의 ALARP개념을 도입하여 위험성 평가를 실시하여 문제점을 도출하고 대책을 강구 하는데 목적이 있고, 여러 가지 문제점중 절대적으로 수용 할 수 없는 Critical Risk로는 Gas Cylinder를 사용하여 Silane을 공급하고자 할 때에는 필히 Gas Cabinet을 사용하여 공급하여야 하고, Tube Trailer를 사용하여 공급하고자 할 때에는 필수적으로 Purge System을 갖추어 공급하여야 한다. 선택적으로 수용할 수 있는 High, Medium Risk로는 Gas Cylinder 또는 Tube Trailer를 사용하여 Silane을 공급하고자 할 때는 Inlet 부분에 RFO(Resticted Flow Orifice)를 설치하여 사용하고 Gas Supply Room에는 CO2소화설비를 적용하지 말고 Water Mist등 물 분무설비를 적용하여야한다.
목차
Abstract
1. Introduction
2. PECVD PROCESS
3. The physical and toxicological properties of silane (SiH4)
4. Generaly silane supply systems
4.1 Silane supply system
4.2 Risk Assessment of based on ALARP concept in the SiH4 Supply System
4.3 Accident Scenarious of SiH4 Supply System
4.4 Recommendations of Hazard Assessment
5. Conclusions
6. Reference
1. Introduction
2. PECVD PROCESS
3. The physical and toxicological properties of silane (SiH4)
4. Generaly silane supply systems
4.1 Silane supply system
4.2 Risk Assessment of based on ALARP concept in the SiH4 Supply System
4.3 Accident Scenarious of SiH4 Supply System
4.4 Recommendations of Hazard Assessment
5. Conclusions
6. Reference
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