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극자외선 라소그래피에서 마스크 결함에 의한 이미지 특징

원문정보

Aerial Image Characterization for Defects in an Extreme-Ultraviolet Mask

유명술, 박승욱, 김옥경, 오혜근

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제7집 2004.12 pp.65-72
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목차

요지
 Abstract
 1. Introduction
 2. Modeling
 3. Results
 4. Conclusion
 References

저자정보

  • 유명술 Myoung-Sul Yoo. 한양대학교 응용물리학과
  • 박승욱 Seung-Wook Park. 한양대학교 응용물리학과
  • 김옥경 Ok-Kyung Kim. 한양대학교 응용물리학과
  • 오혜근 Hye-Keun Oh. 한양대학교 응용물리학과

참고문헌

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