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거친 표면을 가진 흡수체와 버퍼의 측면에 의한 극자외선 산란효과

원문정보

Effect of EUV lignt scattering from the rough absorber and buffer side wall

권영근, 심상진, 김종회, 김옥경, 오혜근

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제6집 2003.12 pp.77-81
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목차

요지
 Abstract
 1. Introduction
 2. Theory
 3. Discussion and Conclusion
 References

저자정보

  • 권영근 Yeong-keun Kwon. 한양대학교 응용물리과
  • 심상진 Sang-jin Sim. 한양대학교 응용물리과
  • 김종회 Jong-hoi Kim. 한양대학교 응용물리과
  • 김옥경 Ok-kyung Kim. 한양대학교 응용물리과
  • 오혜근 Hye-keun Oh. 한양대학교 응용물리과

참고문헌

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