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유도 결합형 플라즈마에서 In-situ 플라즈마 전자밀도 측정방법 연구

원문정보

Study of In-situ Plasma Density Monitoring System in Inductively Coupled Plasma Source

정민중, 김곤호

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제5집 2002.09 pp.29-34
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목차

요지
 Abstract
 1. 서론
 2. 본론
 3. 결론
 참고문헌

저자정보

  • 정민중 Min Joong Jung. 한양대학교 이과대학 물리학과
  • 김곤호 Gon-Ho Kim. 한양대학교 이과대학 물리학과

참고문헌

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